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折叠真空折弯机器人

折叠真空折弯机器人

真空折弯机器人是一种在真空环境下工作的折弯机器人，折弯机器人，主要应用于半导体工业中，实现晶圆在真空腔室内的传输。真空机械手难进口、受限制、用量大、通用性强，其成为制约了半导体装备整机的研发进度和整机产品竞争力的关键部件。而且国外对中国买家严加审查，归属于禁运产品目录，真空机械手已成为严重制约我国半导体设备整机装备制造的“卡脖子”问题。直驱型真空折弯机器人技术属于原始创新技术。

关键技术包括：

(1)真空折弯机器人新构型设计技术：通过结构分析和优化设计，避开国际**，设计新构型满足真空折弯机器人对刚度和伸缩比的要求；

(2)大间隙真空直驱电机技术：涉及大间隙真空直接驱动电机和高洁净直驱电机开展电机理论分析、结构设计、制作工艺、电机材料表面处理、低速大转矩控制、小型多轴驱动器等方面。

(3)真空环境下的多轴精密轴系的设计。采用轴在轴中的设计方法，减小轴之间的不同心以及惯量不对称的问题。

(4)动态轨迹修正技术：通过传感器信息和折弯机器人运动信息的融合，检测出晶圆与手指之间基准位置之间的偏移，发那科折弯机器人，通过动态修正运动轨迹，保证折弯机器人准确地将晶圆从真空腔室中的一个工位传送到另一个工位。

(5)符合SEMI标准的真空折弯机器人语言：根据真空折弯机器人搬运要求、折弯机器人作业特点及SEMI标准，完成真空折弯机器人**语言。

(6)可靠性系统工程技术：在IC制造中，设备故障会带来巨大的损失。根据半导体设备对MCBF的高要求，对各个部件的可靠性进行测试、评价和控制，提高机械手各个部件的可靠性，从而保证机械手满足IC制造的高要求。

一、介绍:

      　　折弯机器人一直受示教时间长、跟踪难度大等因素影响而不能推广。随着我国人力成本的上升，安川折弯机器人，折弯机器人的需求越来越多。

     　　公司凭借金属板材加工自动化领域以及折弯工艺的丰富经验积累，在折弯机数控系统和机器人控制系统上开发了专门的折弯软件，解决了板材折弯过程加速度大而产生的折弯跟随偏差问题以及示教时间长等问题，在客户处得到了非常好的反响。

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     二、折弯机器人折弯方案：

       　　在数控折弯机上配置**模块和安装**机器人折弯软件。

       　　采用五轴折弯机器人，配置直角轴X、Y、Z三轴，以及手腕Ａ、Ｃ轴两轴，在机器人控制系统上安装**折弯工艺软件。

          　　根据客户实际折弯工件，设计制造上料架、定位台、翻转架、机器人抓具、下料架等辅助装置，并安装磁力分张装置和板厚测量装置。